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本发明公开了一种近红外单光子阵列探测器及其制备方法，用于解决现有的单光子阵列探测器制备工艺复杂且防串扰隔离效果较差等技术问题。本阵列探测器包括衬底层、设置在衬底层上表面的外延层和设置在衬底层下表面的减反层；外延层包括自下而上依次生长的缓冲层...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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