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本发明提出一种直写式光刻系统，包括：光源模块，配置为产生曝光用光束，运动平台模块，配置为吸附工件并带动其运动至所需位置，对位检测模块，配置为用于工件对准和系统异常判断，光刻镜头模块，配置为产上图形光束，控制模块，配置为控制前述多个模块，其中...
该专利属于苏州源卓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州源卓光电科技有限公司授权不得商用。

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