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一种新型引出孔形状的潘宁离子源制造技术
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下载一种新型引出孔形状的潘宁离子源的技术资料
文档序号:37795883
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一种新型引出孔形状的潘宁离子源,包括引出孔,所述引出孔包括矩形区和与矩形区连接的异形区,所述异形区宽度从与矩形区连接的一端向另一端逐渐减小,所述矩形区和异形区的对称轴重合;所述引出孔的长度和宽度比为1
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该专利属于四川玖谊源粒子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川玖谊源粒子科技有限公司授权不得商用。
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