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本发明公开了一种监测残氧浓度的浓差式氧传感器及其制备方法,其中,浓差式氧传感器的结构自上而下依次为:Al2O3基片、上层多孔Pt电极、钇稳定氧化锆固体电解质、下层多孔Pt电极、回字形致密钇稳定氧化锆层、Al2O3绝缘层和加热电极,其中,上层...该专利属于明石创新产业技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过明石创新产业技术研究院有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种监测残氧浓度的浓差式氧传感器及其制备方法,其中,浓差式氧传感器的结构自上而下依次为:Al2O3基片、上层多孔Pt电极、钇稳定氧化锆固体电解质、下层多孔Pt电极、回字形致密钇稳定氧化锆层、Al2O3绝缘层和加热电极,其中,上层...