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本发明提供一种IToF图像传感器的像素结构及其制备方法。IToF图像传感器的像素结构包括：衬底；外延层，形成于衬底表面；掩埋层，形成于外延层内靠近衬底的一侧；光电二极管，形成于外延层内、并位于掩埋层远离衬底的一侧，靠近掩埋层一侧的外延层作为...
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