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一种量块测量装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:37785625
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本发明公开了一种量块测量装置和及方法,进行量块测量时,消除外界干扰,具有高的精度和可靠性。使用量块测量装置,进行基准测量得到干涉光谱S1和S2,进行量块测量得到干涉光谱P1和P2;由S1获得光线21和22的光程差D
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该专利属于东北大学秦皇岛分校所有,仅供学习研究参考,未经过东北大学秦皇岛分校授权不得商用。
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