下载一种差压传感器的技术资料

文档序号:37785596

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本发明提出了一种差压传感器,涉及传感器领域。包括:芯体,芯体设置有调理电路,芯体具有多组高低压应力集中孔组,任意一组高低压应力集中孔组包括两个高压应力孔和两个低压应力孔,两个高压应力孔和两个低压应力孔均镀有薄膜,薄膜具有敏感电桥;其能够实现...
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