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本发明公开了一种金属膜厚度测量装置和方法，其中装置中，光源模块出射飞秒激光光束，并由分光模块分为泵浦光和探测光两部分，其中，泵浦光依次通过泵浦光调整模块、泵浦光传输模块后，一部分泵浦光通过探测光传输接收模块后进入探测样品，一部分泵浦光进入光...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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