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平坦化层、平坦化的方法及半导体芯片技术
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文档序号:37775527
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本发明提供一种平坦化层、平坦化的方法及半导体芯片,其可有效地提高含有用于喷头的半导体芯片的晶片的可加工性。平坦化层的厚度介于约2微米到约3微米的范围内,且含有约8.0重量%到约8.5重量%的光酸产生剂;约2重量%到约3.6重量%的光引发剂;...
该专利属于船井电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过船井电机株式会社授权不得商用。
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