下载一种表面等离激元增强的GaN基回音壁电泵激光器及其制备方法的技术资料

文档序号:37774787

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本发明属于片上集成的激光源技术领域,公开了一种表面等离激元增强的GaN基回音壁电泵激光器及其制备方法。该激光器从下到上包括衬底,缓冲层,n型掺杂GaN电流扩展层,多孔DBR层,n型掺杂GaN层,有源层,p型掺杂的电子阻挡层,p型掺杂GaN层...
该专利属于天津工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津工业大学授权不得商用。

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