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本发明公开了一种用于显微操作系统微执行器的追焦方法和系统。本发明由光学显微镜获取图像，通过机器视觉定位微执行器；带动微执行器运动的机械手装有纳米级光栅传感器，该传感器用于检测微执行器在平行于焦平面的平面内的位移；结合图像反馈与光栅传感器的反...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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