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本发明公开了一种结合像散法和莫尔条纹法的大范围高精度对焦装置，属于超精密光学测量领域。本发明装置的作用是实时检测光刻机系统硅片的焦点位置，完成硅片的高精度调焦。检焦装置利用硅片离焦引起的四象限探测器上光斑形状变化完成硅片的大范围粗调焦；利用...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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