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一种基于石墨烯电极的二维半导体器件阵列构建工艺制造技术
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下载一种基于石墨烯电极的二维半导体器件阵列构建工艺的技术资料
文档序号:37771800
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发明名称:一种基于石墨烯电极的二维半导体器件阵列构建工艺摘要:本发明公开了一种基于石墨烯(Graphene)电极的二维半导体器件阵列构建工艺,属于微电子工艺和器件应用领域。本发明中,以二维半导体/Graphene垂直异质结的结构作为Grap...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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