下载一种基于线性位移测量的紧凑式直线位移传感器的技术资料

文档序号:37770924

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本发明涉及线性位移传感器测量技术领域,公开了一种基于线性位移测量的紧凑式直线位移传感器,包括定尺组件、读数头和零点模块;定尺组件包括定尺及信号处理模块;读数头包括动尺及前置信号处理模块;定尺上设有激励电极,动尺上设有感应电极,激励电极和感应...
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