下载一种立式石英炉管及其加工工艺的技术资料

文档序号:37770891

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本申请涉及一种立式石英炉管及其加工工艺,属于炉管设备的技术领域,一种立式石英炉管包括管体,所述管体一端密封并固定连接有与管体连通的偶管,管体远离所述偶管的一端安装有真空泵,所述真空泵靠近管体的一端安装有第三法兰,所述真空泵和所述管体通过第三...
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