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本发明涉及一种高精度纳米划痕测试装置与方法，属于机电一体化领域。测试装置包括底座、大理石龙门架、z轴方向宏动调整单元、精密压入驱动单元、横向力检测单元、x轴方向调整单元、y轴方向调整单元和轴向力检测单元。其中z轴方向宏动调整单元安装在大理石...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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