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全自动标准气体配制装置制造方法及图纸
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文档序号:3776664
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本发明提供一种全自动标准气体配制装置,包括高压底气气路、原料气气路、恒温室、标准气体配气瓶、真空泵、压力传感器和若干电磁阀,特征在于:在恒温室内增设六通阀和定量管,其中六通阀的5端、6端对应接定量管的两端,4端通过电磁阀接真空泵,3端通过原...
该专利属于山东中惠仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东中惠仪器有限公司授权不得商用。
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