下载一种高开关比二氧化钒薄膜及制备方法的技术资料

文档序号:37766480

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本发明提供一种高开关比二氧化钒薄膜及制备方法,包含如下步骤:(1)首先通过高温薄膜沉积工艺在基片上沉积一层10
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