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本发明提供一种反射镜的面形优化方法及装置。该反射镜的面形优化方法包括：根据响应矩阵、热变形向量和各扰动项确定各热通量向量；根据响应矩阵、热变形向量和各满足约束条件的热通量向量确定各残余面形误差；在反射镜的加热片上施加各残余面形误差的最小值对...
该专利属于深圳综合粒子设施研究院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳综合粒子设施研究院授权不得商用。

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