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一种Poly舟的清洗方法,属于太阳电池制备技术领域;该方法包括:对反应气体进行电离,得到清洗离子;反应气体包括有效气体成分,有效气体成分含有氟元素;采用清洗离子与Poly舟表面的膜层进行反应,完成清洗;其中,清洗离子与Poly舟表面的膜层反...
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