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本申请提供了一种平面双五连杆机构的控制方法及控制系统，该方法包括：建立平面双五连杆机构质心的逻辑轴到物理轴的力学解耦矩阵；基于旋转角度、电机转轴半径及曲柄长度确定机械臂的当前位置；利用机械臂的当前位置及机械臂与质心之间的物理关系，确定机构质...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。