下载一种防结冰的N型硅片金刚线切割液用输送装置的技术资料

文档序号:37746483

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本实用新型公开了一种防结冰的N型硅片金刚线切割液用输送装置,包括气动隔膜泵本体(1)和连于气动隔膜泵排气管路上的消音器(2),消音器(2)上设有微型加热装置(3),其包括加热丝(31),加热丝(31)嵌于消音器(2)外壁上的加热环槽(21)...
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