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一种单片集成的硅基光馈天线制造技术
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文档序号:37746444
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本发明公开了一种单片集成的硅基光馈天线,所述单片集成的硅基光馈天线包括硅基片上天线、锗硅光电探测器、偏置网络和GSG pad部分。该硅基光馈天线通过大带宽和高RF饱和功率的锗硅光电探测器进行光电转化并馈入高增益和高定向性硅基片上天线发射到空...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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