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存储器的形成方法及存储器技术
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文档序号:37745425
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本公开提供了一种MRAM存储器的形成方法及MRAM存储器,涉及半导体技术领域,MRAM存储器的形成方法包括:提供硅衬底和多个图案化的复合层,第一沟槽贯穿复合层并延伸至硅衬底内第一深度;形成保护层,保护层在第一沟槽中形成狭缝;基于狭缝在硅衬底...
该专利属于北京超弦存储器研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京超弦存储器研究院授权不得商用。
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