下载一种片式集成电路材料退镀单元的技术资料

文档序号:37742337

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本申请涉及一种片式集成电路材料退镀单元,涉及一种电镀生产设备,其包括安装架、沿安装架长度方向间隔设置的若干传送辊组件;相邻所述传送辊组件之间设置有清洗组件;每一所述传送辊组件包括上传送辊和下传送辊;所述清洗组件包括上出水管和下出水管,所述上...
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