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本实用新型公开了一种多级氟气除氟化氢的装置，包括氟气进气管路、一级冷凝净化器、连接管路、回流管路、二级冷凝净化器、氟气出气管路、收集管路和氟化氢收集罐；氟气进气管路与一级冷凝净化器的下输入端连接，连接管路的一端与一级冷凝净化器的上输出端连接...
该专利属于广东华特气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东华特气体股份有限公司授权不得商用。

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