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气体传感器芯片以及具有该芯片的气体传感器制造技术
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文档序号:3774024
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本发明提供即使设置在例如排气流动的锅炉烟道这样的恶劣环境中也能够长期得到稳定的输出特性的气体传感器芯片以及具有该气体传感器芯片的气体传感器。气体传感器芯片具有背侧结构,即:在传热体(113)的一方侧配置与被测定气体接触的催化剂载体,在传热体...
该专利属于株式会社山武所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社山武授权不得商用。
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