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本实用新型公开了一种蜂窝分布式气旋多晶硅还原炉,其包括炉体和底盘,以及设置在所述底盘的多个电极、进气孔和排气孔,所述电极在所述底盘上呈正六边形排布,所述进气孔和/或所述排气孔设置在由所述电极围成的正六边形的中心。实用新型结构简单紧凑,够维持...该专利属于苏州鑫晶人工智能技术研发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州鑫晶人工智能技术研发有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种蜂窝分布式气旋多晶硅还原炉,其包括炉体和底盘,以及设置在所述底盘的多个电极、进气孔和排气孔,所述电极在所述底盘上呈正六边形排布,所述进气孔和/或所述排气孔设置在由所述电极围成的正六边形的中心。实用新型结构简单紧凑,够维持...