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本实用新型提供一种自动晶圆隐形切割设备，包括机架、大理石基座；上料架，用于放置料盒；变距轨道模组；上下料旋转吸料模组，轮流吸附运送晶圆物料；夹料搬运模组，夹送晶圆物料；移动切割模组，包括X轴移动模组、Y轴气浮直线平台、马达转台、石英吸附平台...
该专利属于苏州首镭激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州首镭激光科技有限公司授权不得商用。

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