下载压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置的技术资料

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本发明涉及压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的 装置。具体而言,提供了一种制造压电振动片的方法,其包括:外形 形成步骤,其在晶圆处形成构架部S1并且在该构架部形成有待通过 连接部(11a)连接到其上的多个压电板;电极形成步骤,其分...
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