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本申请涉及单晶硅拉制技术领域，公开了一种单晶硅制备过程中的投料工艺及装置，投料工艺包括复投料阶段，所述复投料阶段包括如下步骤：利用第一投料装置从单晶炉的侧部进料口往坩埚内投入颗粒硅料；同时控制所述单晶炉顶部的第二投料装置的料筒向靠近坩埚方向...
该专利属于四川晶科能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川晶科能源有限公司授权不得商用。

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