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本发明提供一种低介电常数介质层及金属互连结构的制作方法，通过优化低介电常数介质层的制备方法中前驱物和含氧的反应气体的组分配比，使所述低介电常数介质层具有改善的机械强度同时其介电常数变化不大。本发明的金属互连结构的制作方法中包括根据前述的低介...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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