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本发明公开了一种空气悬浮的精密晶圆划切电主轴，其芯轴的外壁与进气轴承的内壁之间的气浮间隙与外部的气源装置连通。芯轴的第一端同轴固定有电机转子，电机转子位于电机定子的内侧。电机定子内周壁上的若干铁芯凸起部上均绕设与外部机台的控制端电性连接的线...
该专利属于深圳市汉诺克精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市汉诺克精密科技有限公司授权不得商用。

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