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本发明涉及一种用于化学气相沉积反应的生产系统，包括依次连接的预热器、反应器和除尘设备，预热器的出口连接反应器的若干个原料气进口，用于将预热后的原料气体输入反应器；反应器的尾气出口连接除尘设备的进气口，用于过滤反应器的尾气中的颗粒物；所述反应...
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