下载一种单晶金刚石外延生长方法的技术资料

文档序号:37709761

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种单晶金刚石外延生长方法,包括如下步骤:将单晶金刚石衬底焊接于第一钼托上;在单晶金刚石衬底上进行同质外延生长,直至生长得到的第一金刚石外延层的厚度达到第一预设厚度;将第一金刚石外延层焊接于第二钼托上的第一生长凹槽内,直至生长得...
该专利属于西安电子科技大学芜湖研究院所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学芜湖研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。