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本发明公开了一种角度误差不敏感的激光干涉直线度与位移同时测量装置。包含干涉光路部分和测量组镜部分，测量组镜部分中渥拉斯顿棱镜、角锥棱镜和分光棱镜组成移动测量镜，该测量镜移动时，产生含有不同多普勒频差的两路测量光束，经两个光电探测器接收输出两...
该专利属于浙江理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江理工大学授权不得商用。

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