下载具备多重调控的沟槽型IGBT器件的技术资料

文档序号:37707042

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本发明涉及一种具备多重调控的沟槽型IGBT器件。其包括半导体基板以及元胞区;对任一元胞,包括元胞第一沟槽以及元胞第二沟槽,其中,在所述元胞第一沟槽与元胞第二沟槽之间设置多重调控区,多重调控区与元胞第一沟槽、元胞第二沟槽相应的外壁接触,且多重...
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