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江苏中科君芯科技有限公司
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具备多重调控的沟槽型IGBT器件制造技术
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文档序号:37707042
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本发明涉及一种具备多重调控的沟槽型IGBT器件。其包括半导体基板以及元胞区;对任一元胞,包括元胞第一沟槽以及元胞第二沟槽,其中,在所述元胞第一沟槽与元胞第二沟槽之间设置多重调控区,多重调控区与元胞第一沟槽、元胞第二沟槽相应的外壁接触,且多重...
该专利属于江苏中科君芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏中科君芯科技有限公司授权不得商用。
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