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本发明提供了一种位置度测量组件、装置及方法,其中,所述位置度测量组件包括:基准接触部,用于接触工件的基准部以形成测量基准;和测量接触部,用于接触工件的待测部并反馈所述待测部相对于所述基准部的位置度偏差;其中,所述基准接触部和测量接触部设置为...该专利属于南京泰普森自动化设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京泰普森自动化设备有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种位置度测量组件、装置及方法,其中,所述位置度测量组件包括:基准接触部,用于接触工件的基准部以形成测量基准;和测量接触部,用于接触工件的待测部并反馈所述待测部相对于所述基准部的位置度偏差;其中,所述基准接触部和测量接触部设置为...