下载翻转装置与翻转基板的方法的技术资料

文档序号:3770628

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本发明公开了一种翻转装置与翻转基板的方法,该翻转装置包括翻转架及气流导引单元。翻转架内部为中空。翻转架具有相对的第一吸附面与第二吸附面,其分别设有多个第一孔洞。气流导引单元包括控制模块、第一管线组及第二管线组。第一管线组的一端连接至控制模块...
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