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本发明主要涉及一种制造一个或多个独立的微机械加工部件的方法。该方法包括对支撑在载体衬底上的光致抗蚀剂和钨基层进行反应性离子蚀刻，从而限定一个或多个微机械加工部件，然后将所得的一个或多个微机械加工部件与载体衬底分离，使得部件是独立的。本发明还...
该专利属于格拉斯哥大学校董会所有，仅供学习研究参考，未经过格拉斯哥大学校董会授权不得商用。

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