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本发明提供了一种晶圆刷洗机，包括：载台，配置于载台并具备开口的腔体机构，装配于载台并形成于腔体机构周向外侧的清洁单元，以及贯穿载台并沿轴向延伸入腔体机构的晶圆旋转机构；清洁单元包括：具备喷嘴的若干摆臂，具备清洗刷头的刷洗装置，以及沿周向形成...
该专利属于苏州智程半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州智程半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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