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东京流量仪器仪表株式会社
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流量控制装置制造方法及图纸
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文档序号:37701785
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本发明提供能够改善累计流量误差的流量控制装置。本发明的流量控制装置(1)具备:流量计(2),其测定在流路(8)流通的流体的流量;流量调节阀(4),其调节在流路(8)流通的流体的流量;以及控制部(7),其基于流量计(2)的测定结果来控制流量调...
该专利属于东京流量仪器仪表株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京流量仪器仪表株式会社授权不得商用。
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