下载光学检测系统的技术资料

文档序号:37700758

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本发明公开了一种光学检测系统,该光学检测系统的第一载台及第二载台用以载负第一光学装置及第二光学装置。位移机构连接于第一载台及第二载台,用以使第一载台及第二载台产生位移。第一工作模块用以对第一光学装置进行一第一检测功能。第二工作模块用以对第二...
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