下载狭缝涂布装置及薄膜生产系统的技术资料

文档序号:37686308

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本实用新型提供狭缝涂布装置及薄膜生产系统,涉及涂布设备领域。通过传输机构传输基板依次经过涂布机构、风刀吹扫机构和后处理机构,利用涂布机构在基板表面形成湿膜(如钙钛矿湿膜),利用风刀吹扫机构对湿膜进行吹扫加速有机溶剂挥发干燥,经过后处理机构从...
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