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本发明目的在于提供一种用于大流量但却不至于大型化的、廉价而 简洁的高性能流量传感器以及应用此传感器的质量流量控制装置。其特 征在于，流量传感器(8)将流体以特定的分流比分流至旁通流路(12) 和由形成桥式电路一部分的发热电阻丝绕制成的传感器...
该专利属于日立金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日立金属株式会社授权不得商用。

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