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本发明公开了一种约瑟夫森结及其制备方法。制备方法包括：提供衬底，形成第一光刻胶层于衬底上，第一光刻胶层具有贯穿的第一沟道，第一沟道包括上沟道和宽度大于上沟道的下沟道，上沟道位于下沟道开口上方；沿垂直第一沟道方向进行倾斜蒸镀，在第一沟道内的衬...
该专利属于合肥本源量子计算科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥本源量子计算科技有限责任公司授权不得商用。

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