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本发明属于电子制造精密测量领域，并公开了一种线光谱共焦轮廓测量传感器。该传感器包括光源、双轴共焦单元和成像单元，其中，光源用于提供线光源；双轴共焦单元用于将光源发出的光照射在待测样品表面并将待测样品的反射光聚焦于狭缝形成共焦结构，其包括第一...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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