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本说明书提供了结构、用于制备所述结构的原子层沉积方法以及制备所述结构的设备。与当前可用的材料相比，所描述的结构提供了意想不到的优点。到的优点。到的优点。
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该专利属于英格维蒂南卡罗来纳有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过英格维蒂南卡罗来纳有限责任公司授权不得商用。

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