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本公开实施例涉及电子设计技术领域，提供了一种MEMS器件模型构建方法、装置及设计方法，构建方法包括：以理论计算和数值仿真计算为数据基础，采用模型构建算法，建立输入参数与输出参数之间的映射关系，确定MEMS器件理论模型以及输入权重；其中，输入...
该专利属于中国电子科技集团公司信息科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司信息科学研究院授权不得商用。

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