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二自由度解耦大行程柔性结构微动平台制造技术
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文档序号:37672449
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二自由度解耦大行程柔性结构微动平台,属于微动平台技术领域。它提供一种基于杠杆放大、能够实现高精度、大行程、运动解耦的微动平台。机架为框型结构,安装在机架上的两个压电陶瓷驱动单元分别设置X轴和Y轴,工作平台设置在X轴和Y轴的交点上,并柔性安装...
该专利属于东北林业大学所有,仅供学习研究参考,未经过东北林业大学授权不得商用。
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